HepaFilterUnit HFU 페이지 정보 작성일 18-12-04 16:51 본문 크린룸 천정에 설치하며, 덕트를 통하여 이동하는 공기가 헤파필터를 거쳐 청정화되어 크린룸 실내의 청정도를 유지시키는 장비 검색 목록